Az EUV berendezések ma már a modern gyártástechnológiák elengedhetetlen kellékei, de nagy probléma velük, hogy rendkívül drágává teszik a gyártást. Az alapvető gond az, hogy a fényt hatékonyan kell irányítani, ami nem túl egyszerű feladat, és egyáltalán nem energiatakarékos.
Hirdetés
Tsumoru Shintake, az Okinawai Tudományos és Technológiai Intézet szakembere előállt egy olyan módszerrel, amely két komolyabb gondot számolna fel a jelenlegi technológiát tekintve. Egyrészt egy leegyszerűsített optikai vetítőrendszer által mindössze két tükör elég lenne az optimális működéshez, másrészt pedig egy új módsszerrel az EUV fény hatékonyan lenne a fotomaszkra irányítva, méghozzá anélkül, hogy akadályozva lenne az optikai útvonal.
(forrás: OIST) [+]
Az új koncepciókkal egyszerűsödhetnének az EUV berendezések, kisebb telejsítményű fényforrással is működtethetők lennének, aminek hála az energiaigény akár egytizedére is csökkenthető. Gyakorlatilag reális közelségbe kerülhetnek a 100 kilowattal megelégedő konstrukciók, ami kiemelten hasznos lenne a gyártási költségek csökkentése szempontjából.
Az Okinawai Tudományos és Technológiai Intézet szabadalmi kérelmet nyújtott be az új technológiára, és demonstrációs kísérleteken keresztül prezentálnák a gyakorlati megvalósítást. A friss rendszer fő előnye az, hogy az induló fényforrás 10%-a is elérheti a szilíciumostyát, miközben a jelenlegi EUV-s berendezésekkel ez az érték inkább 1% körül van. Ráadásul a komplexitás csökkenésének hála egy új elvek szerint épített EUV berenedezés, akár 100 millió dollárból is kihozható, ami nagyjából a harmada-negyede, a jelenlegi alternatíváknak.
